时间: 2025-11-09 06:12:24 | 作者: 爱游戏体育官网链接
芯片这玩意儿,说白了便是现代科技的命根子,谁把握了先进制程,谁就占了优势。我国这些年砸重金搞半导体,中心设备光刻机一直是硬骨头。
ASML那家荷兰公司垄断了EUV技能,专攻7nm以下的精密活儿,可他们不卖给我们,出口操控卡得死死的。这不,本年8月,我国团队直接亮出两张主力:纳米压印和电子束光刻,俩计划都绕过了EUV的专利墙。
光刻机本质上是给硅片上“画电路”的机器,EUV用极紫外光,精度高到能搞2nm芯片,但本钱高、供应链杂乱,美国带头封闭,ASML只能卖老款DUV给我国企业。
效果呢?我们的芯片厂还停在ArF滋润式阶段,落后个十来年。专家算过账,EUV一台机器上亿欧元,保护还得靠全球分工,我国想自给自足,得从头来过。
可直接硬刚EUV?太难,专利壁垒像铁桶,供应链还被卡脖子。聪明人就想,干嘛非得跟EUV一条道走到黑?换条路子,纳米压印和电子束直奔5nm级精度,本钱低、门槛浅。
8月这波音讯一出,台媒直呼“ASML强敌来了”,但镇定想想,这俩计划不是,而是补短板的详细招儿。纳米压印早几年日本佳能在玩,电子束美国俄罗斯也捣鼓,我国版落地快,靠的是堆集和转化。
说到底,不求一步登天,先处理痛点,再迭代。世界上,芯片战打得火热,美国商务部层层加码,我国这边不慌不忙,步步为营,表现出韧劲儿。
再说第一个计划,璞璘科技的PL-SR系列喷墨步进式纳米压印设备。璞璘此公司,2017年从南京大学实验室转出来,专心高分子资料和压印胶,创始人葛海雄是资料科学教授,海外镀过金,回国后直奔工业化。
8月1日,这台设备检验经过,交给给国内一家特征工艺客户,线nm,能搞贮存芯片、硅基微显、硅光和先进封装。啥叫纳米压印?简单说,便是用模板像印章相同压图画,喷墨技能加持,胶水均匀喷上,再紫外固化,省去了光源和镜头。
比较EUV的13nm起步,这精度够用,理论上支撑5nm以下。本钱呢?听说只要EUV的十分之一,能耗低,合适中小批量,不必大厂那套巨资投入。璞璘的打破在喷墨算法和非真空贴合,处理了模板变形和残胶问题,检验时客户检查样片,电路图画稳稳的。
国内300多家企业也在跟进NIL道路,璞璘不是单枪匹马,而是领头羊。接地气点说,这技能像3D打印的晋级版,灵敏性高,起步简单,我国资料根底好,胶料自给率高。
缺点?功率低,一片处理时刻长,不合适海量出产,但对研制和小厂是福音。8月8日璞璘官宣后,职业圈炸锅,融资也跟上,阐明商场认可度高。这步棋下得老实,避开了ASML的专利雷区,直击痛点。
第二个计划更硬核,浙江大学的“羲之”电子束光刻机。8月13日在杭州城西科创大走廊开幕,首台国产商业化EBL,孵化自余杭量子研究院,精度0.6nm,线nm,直接在硅晶圆上刻电路,无需掩膜版。
EBL啥原理?用电子束像激光笔相同点对点“写”图画,灵敏度爆表,改规划不必重做模板,合适原型验证和量子芯片那种小众高精范畴。浙大这项目从实验室起步,几年磨合,测验阶段已送样下流厂,第一批8英寸晶圆批次功率进步15%。
比较ASML第二代EUV的8nm,这精度不输,处理时刻虽长,但对高端研制符合。世界上,EBL不是新鲜货,美国有老牌供货商,但我国版落地快,本钱操控住,专攻国产化。开幕时,负责人着重这是效果转化典型,浙大从根底研究到工业,链条短。
缺点清楚明了,功率瓶颈大,单机产能低,远不及EUV的220片每小时,但对5nm以下的立异迭代是利器。量子核算、先进封装这些前沿,EBL玩得转,我国量子布局正热,这机器来得及。
就跟手艺雕琢比流水线,尽管慢,但精密活儿非它莫属。两计划互补,纳米压印管量产起步,电子束管高精定制,合起来像双保险。
这两打破不是孤岛,背面是全链条发动。国内光刻道路多管齐下,上海微电子的DUV在迭代,28nm安稳,14nm试产;中芯世界用老设备顶着7nm,华为麒麟9000s便是比如。
纳米压印和EBL补了EUV空档,估计下一年中试规模化,璞璘计划扩功率模块,“羲之”请求批量答应。世界反响呢?ASML CEO三年前讪笑我国“有图纸也造不出”,现在股价微晃,但他们稳坐钓鱼台,EUV订单满。
美媒CSIS剖析,这俩计划是“打破仍是揄扬”,结论是实打实前进,但离推翻远。10月还有光刻胶打破,Nature论文详解光阻资料缺点操控,进步良率。我国这边,方针稳,十四五规划重半导体,资金投向设备国产。
这事儿像打持久战,不盼望一夜翻盘,但每步都实。未来咋样?整合DUV+代替技能,5nm自主率升,工业链从上游光源到下流封装,全闭环。专家估,3-5年,产能追平不是梦。总的,我国半导体不走捷径,靠堆集,耐性足。
放眼全球,芯片战晋级,美国芯片法案砸500亿,我国反制出口操控,ASML夹中心,2025年上半年对华出口降30%。但我国不被迫,华为海思转向兼容架构,中芯扩产28nm产能翻倍。
两计划落地,标志从“跟跑”到“并跑”,虽非终极解,但翻开缺口。内在上,这表现供应侧变革,技能自主不是凭空捏造,而是敞开立异,浙大璞璘都吸海外经历。
危险有,迭代需资金和技能,世界封闭或加重,但我国商场大,内需拉动强。展望下,2026年或见批量交给,5nm芯片国产化提速。ASML慌不慌?短期不,但长时间得警觉我国速度。这波打破,老实有料,值得乐观念。